히터
MPH
메탈 플레이트 히터
고정밀 가공 금속 베이스에 히팅 엘리먼트와 열센서를 내장해 웨이퍼·기판을 균일하게 가열하는 대면적 히터.
주요 특징
- 균일한 온도 분포와 빠른 응답 특성
- 고진공·고온 환경에서 높은 평탄도·내열성
- 전도형(Conductive) 및 절연형(Insulated) 구조
- 냉각라인·온도센서·전극 통합 설계, 장비 맞춤 사양
- 8층 적층 구조: 메탈 베이스 · 그라파이트 · 마이카 · 1T 마이카히터 · 내열 실리콘
적용 분야
반도체 웨이퍼 가열 장비, 디스플레이 제조 장비, 진공 챔버 및 플라즈마 시스템, 레이저·정밀 가공 장비, 기타 균일한 열 분포가 요구되는 산업용 장비
사양
| 재질 | SUS304, Inconel, Aluminum, OFC(무산소동) 등 |
|---|---|
| 표면 평탄도 | ≤ 5 ㎛ (Ø300 기준) |
| 사용 온도 범위 | -60℃ ~ +400℃ (냉각/히팅형 사양별 상이) |
| 구조 형식 | 전도형 / 절연형 / 냉각형 / 히팅형 |
| 전원 입력 | 사용자 지정 사양 (히팅존별 제어 가능) |
| 커넥터 인터페이스 | 전원, 센서 통합 가능 |