히터
MCH
메탈 척 히터
반도체·디스플레이·진공 장비에서 웨이퍼나 기판을 고정하는 핵심 부품. 표면 평탄도 ≤5㎛, 균일도 ±3℃ 이내 조정.
주요 특징
- 내장형 히팅 엘리먼트로 빠른 열 응답·균일한 온도 분포
- 고온에서도 안정적인 구조 강도와 절연 특성
- SUS, Inconel, Cu, Ti 등 고내열 금속 적용
- 전도형(Conductive) · 절연형(Insulated) · 냉각형 · 히팅형
- 고진공 환경에서도 안정적인 접촉 및 열전달
적용 분야
반도체·디스플레이·진공 장비의 웨이퍼·기판 고정 및 가열
사양
| 재질 | SUS304, Inconel, Aluminum, OFC(무산소동) 등 |
|---|---|
| 표면 평탄도 | ≤ 5 ㎛ (Ø300 기준) |
| 사용 온도 범위 | -60℃ ~ +400℃ (냉각/히팅형 사양별 상이) |
| 구조 형식 | 전도형 / 절연형 / 냉각형 / 히팅형 |
| 전원 입력 | 사용자 지정 사양 (히팅존별 제어 가능) |
| 커넥터 인터페이스 | 전원, 센서 통합 가능 |
| 온도 균일도 | ±3℃ 이내 조정 가능 (챔버 환경 기준) |